激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣用途：
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡氣氦-氖激光混合氣：
1.2.0-8.3He用于工業(yè)生產、科學研究和國防建設等領域二氧化碳激光混合氣
2.0.413.513.08.06.016.08-124.57.08.08.016.06-82.04.04HeHeHeHeHeHe主要用于激光加工、如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫(yī)療上用的激光外科等氪-氟激光混合氣
3.5101-1.2HeHe用于保護膜暴光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光密封束激光混合氣。
4.18.532.5H2作研究用的密封激光器準分子激光混合氣
5.25.89.80.004150.25ArHeHeAr準分子激光器用于醫(yī)療上的外科手術
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